Pažangiuose puslaidininkių ir{0}} aukščiausios klasės gamybos procesuose skysčių perdavimo sistemos atlieka labai svarbų vaidmenį užtikrinant proceso stabilumą, produkto išeigą ir veikimo saugą. Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. teikia išsamius pramoninių skysčių perdavimo sprendimus, sukurtus didelio-grynumo, korozijos ir tikslumo{5}}valdomai terpei. Mūsų sprendimai apima visą sklandų kelią-nuo šaltinio paskirstymo--naudojimo taško-užtikrinant patikimumą, švarą ir ilgalaikį{11}}našumą sudėtingoje procesų aplinkoje.

 

Pramonės iššūkiai skysčių pernešimo sistemose

 

Aukšto grynumo ir užterštumo kontrolė

Puslaidininkių procesai apima itin{0}}grynas chemines medžiagas ir itin gryną vandenį (UPW). Netgi metalo jonų pėdsakai, dalelės ar ekstrahuojamos medžiagos gali tiesiogiai paveikti įrenginio našumą. Įprastos pramoninių skysčių sistemos dažnai neatitinka pažangių proceso mazgų grynumo reikalavimų.

 

Korozinės ir sudėtingos terpės

Daugelis proceso cheminių medžiagų, tokių kaip rūgštys, šarmai ir oksidatoriai, pasižymi stipriomis korozinėmis savybėmis. Skysčių pernešimo komponentai turi išlaikyti cheminį suderinamumą ir mechaninį vientisumą ilgalaikio poveikio metu.

 

Nuolatinis veikimas ir sistemos patikimumas

Gamybos įrankiai veikia 24/7. Bet koks nuotėkis, ryšio gedimas arba srauto nestabilumas gali sukelti įrangos prastovą, plokštelių laužą arba pavojų saugai. Svarbus didelis sistemos patikimumas.

 

Kompaktiškas įrangos dizainas

Šiuolaikinei puslaidininkinei įrangai reikalingas tankus vamzdynų išdėstymas ribotoje erdvėje. Skysčių sistemos turi palaikyti kompaktišką montavimą, tikslų maršrutą ir paprastą priežiūrą.

 

Pagrindiniai techniniai sprendimai

 

Didelio{0}}grynumo skysčių pernešimo sprendimai

Sukurta specialiai itin{0}}švarioms proceso aplinkoms.

 

Medžiagos pasirinkimas

  • Aukšto{0}}grynumo PFA, PTFE ir PVDF
  • Mažas metalo jonų kiekis ir minimalus ekstrahuojamas kiekis

 

Vidinio paviršiaus kokybė

  • Sklandžiai vidiniai srauto keliai
  • Sumažėjęs dalelių sukibimas ir cheminių medžiagų sulaikymas

 

Tipinės programos

  • Šlapi suolai ir valymo įrankiai
  • Cheminių medžiagų tiekimo sistemos
  • UPW paskirstymo linijos

 

Korozijai{0}}atsparus ir ilgaamžis{1}} dizainas

Sukurtas taip, kad atlaikytų agresyvią cheminę aplinką.

 

Cheminis suderinamumas

Tinka HF, H2SO4, HCl, H2O2 ir kitoms agresyvioms terpėms

 

Struktūrinis projektavimas

  • Įtempimams-atspari-įtrūkimų geometrija
  • Nemokami-zona-vidiniai kanalai

 

Eksploatacinės naudos

  • Pailgintas tarnavimo laikas
  • Sumažinti priežiūros intervalai
  • Mažesnės bendros nuosavybės išlaidos

 

Tikslioji sujungimo ir sandarinimo technologija

Nepertraukiamai veikiant, užtikrinamas našumas be nuotėkio{0}}.

 

Prisijungimo būdai

  • Lydomosios{0}}suvirintos jungtys
  • Modulinės greito{0}}jungiamosios detalės
  • Individualūs sąsajos sprendimai

 

Sandarinimo našumas

  • Nuosekli sandarinimo jėga
  • Atsparumas slėgio svyravimams ir šiluminiams ciklams

 

Privalumai

  • Mikro{0}}nuotėkio prevencija
  • Pakartojama surinkimo kokybė
  • Palaikymas dažniems priežiūros ciklams

 

Tinkinimas ir inžinerinis palaikymas

 

Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. teikia tvirtą inžinerinę pagalbą per visą projekto gyvavimo ciklą.

 

  • Proceso laikmenų suderinamumo įvertinimas
  • Skysčių sistemos parinkimas ir konfigūracijos palaikymas
  • Vamzdynų išdėstymo optimizavimas
  • Prototipo testavimas ir patvirtinimas
  • Techninė dokumentacija ir montavimo instrukcijos

 

Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. Pramoniniai skysčių perkėlimo sprendimai užtikrina patikimą, švarų ir stabilų skysčių valdymą pažangioms gamybos aplinkoms. Pasitelkę žinias apie medžiagas, tiksliai inžineriją ir sistemos-lygio projektavimą, padedame klientams užtikrinti saugesnę veiklą, didesnį derlių ir ilgalaikį proceso stabilumą.